为深入贯彻党的二十大“加快实施创新驱动发展战略,要加强企业主导的产学研深度融合,强化目标导向,提高科技成果转化和产业化水平”精神,全面落实成都市委“科技成果转化要有力有效”决策部署,将成都高新区打造具有全国影响力的创新成果中试首选地、创新驱动引领高质量发展示范区,成都高新区科技创新局深入走访、全面摸排区内具备中试功能的公共技术平台和先进制造企业,宣传“中试十条”政策,特别是引导鼓励企业平台对外提供中试服务,并以“样品生产”和“对外服务”为金标准,经过企业申报和专家评审,认定了电子信息、生物医药两个方向的首批21家中试平台。
集成电路材料中试平台
中试平台及建设主体:集成电路材料中试平台,由成都芯仕成微电子有限公司建设。
芯仕成是成都高新区“四派人才”企业,是电子薄膜与集成器件全国重点实验室科技成果转化基地,建立了单晶薄膜材料及异质异构集成技术相关的仿真设计、加工制造和测试分析条件,形成了集成电路核心材料制备加工、检测分析以及芯片流片等能力,能支撑功率半导体芯片、射频芯片、光电芯片、传感芯片和类脑芯片等先进集成电路产品的研发、中试和批量试产。公司已获得授权专利18项、集成电路布图5项和软件著作权1项。
平台中试服务内容:平台建成了“实验验证一一中试熟化一一批量生产”的产业化链,拥有材料计算、制备、加工能力,支撑集成电路核心材料的中试熟化,示范带动效果显著。
针对功率半导体、6G移动通信、神经网络计算芯片、单光子探测等领域“卡脖子”问题,并面向未来新兴赛道,平台承接生产SiC(碳化硅)、GaN(氮化镓)、InP(磷化铟)等第三代半导体材料,YBCO(钇钡铜氧)纳米膜等量子材料,可光刻玻璃基板、陶瓷基板等封装材料,LiTa03(钽酸锂)、LiNb03(铌酸锂)等功能材料;发明新一代SiC晶圆材料,使SiC功率器件的成本降低40%,能对电动汽车、光伏发电、高铁等下游应用领域产生颠覆性影响,发明硅基LiTa03单晶薄膜,用于研制新一代射频滤波器芯片,可以解决目前我国该类产品95%依赖进口的窘状,每年有近1000亿元的市场规模。
平台实力:平台拥有员工20余人,研发人员占比60%,拥有硕博士专业技术人才占员工比例约50%;平台主要管理和技术团队有电子科技大学、德国德累斯顿工业大学相关专业背景,入选过国家级、省级先进人才行列,获得过多项发明奖励,曾在华为、夏普等头部企业任职。平台占地约2000㎡,购置价值3千万元相关设备,具备集成电路核心材料制备加工、检测分析以及芯片流片等条件。(选送单位:高新区科技创新局)