为深入贯彻党的二十大“加快实施创新驱动发展战略,要加强企业主导的产学研深度融合,强化目标导向,提高科技成果转化和产业化水平”精神,全面落实成都市委“科技成果转化要有力有效”决策部署,将成都高新区打造具有全国影响力的创新成果中试首选地、创新驱动引领高质量发展示范区,成都高新区科技创新局深入走访、全面摸排区内具备中试功能的公共技术平台和先进制造企业,宣传“中试十条”政策,特别是引导鼓励企业平台对外提供中试服务,并以“样品生产”和“对外服务”为金标准,经过企业申报和专家评审,认定了电子信息、生物医药两个方向的首批21家中试平台。
功率半导体检测中试平台
中试平台及建设主体:功率半导体检测中试平台,由成都复锦功率半导体技术发展有限公司依托“岷山行动”计划首批揭榜项目“成都岷山功率半导体技术研究院”建设。
平台团队情况:平台由前台积电高管张帅博士,前软银资本高管、现成都矽能科技有限公司总经理白杰,以及功率半导体著名专家、电子科技大学张波教授领衔管理运营,提供技术支持。
平台中试服务内容:功率半导体中试平台由可靠性测试及失效分析联合实验室、PSTI-ADT切割联合实验室组成。平台为第三代半导体和传统材料提供切割、可靠性测试、失效分析等技术服务。
可靠性测试及失效分析联合实验室:位于高新西区,以先进的测试仪器为核心,并结合研究院数十位专家团队的丰富经验,其中包括多位拥有10年以上可靠性测试及失效分析经验的资深专家,以专业的技术服务面,覆盖传统硅基器件到三代半功率器件,高压到低压,器件到模块,提供高效且全面的特性测试和表征,致力缩短测试出货前的质量验证阵痛期,为客户严谨把关产品质量。
可靠性测试方面,实验室结合军规(MIL-STD)、车规(AEC)、工规/商规(JEDEC)等国际标准与客户需求,提供相关检测项目。
主要设备包括:高温反偏试验箱(HTRB)、高温栅偏试验箱(HTGB)、高温高湿试验箱(H3TRB)、功率循环试验箱(IOL)、高加速寿命试验箱(HAST)、温度循环试验箱(TC)、无铅回流焊(IR-Reflow)等。能进行环境(高低温)模拟试验、电老炼试验、加速寿命试验、引线拉力测试、振动试验、可焊性、ESD测试等测试项目。
在产品测试之后,实验室还可根据客户要求,提供从电性检测、有损/无损分析、失效验证、报告出具的全套失效分析解决方案,也能进行定制化失效分析服务,最终协助客户准确地找出产品失效点位。
主要项目包括:光学电子显微镜(OM)、X射线检测(X-Ray)、超声波扫描(SAM)、IV曲线跟踪仪、激光开封、化学开封、金属去层、PN结染色、探针台、液晶定位、截面研磨等。
PSTI-ADT切割联合实验室:位于高新西区,由成都岷山功率半导体技术研究院和先进微电子装备(郑州)有限公司(ADT)共同组建,面向西南地区的广大半导体设计公司以及高校服务,旨在打造一个西南地区覆盖多种材料、工艺、数量需求的全方位切割平台,为市场提供即时的、可靠的、专业的切割服务。
实验室技术团队出众,其中实验室负责人在INTEL等行业龙头公司切割领域工作多年,有丰富半导体切割经验。
实验室设备设施完备。目前实验室具备100k的洁净环境,配备有贴膜机、ADT精密切割机、清洗机、UV解胶机、扩膜机等,其中共有3台切割设备,囊括硅、碳化硅、氮化镓、砷化镓等市场主流材料,和4寸、6寸、8寸、12寸(外协)晶圆以及二次切割等市场主流需求。
此外,实验室预计今年还将添置一台切割设备,同时将引进研磨设备,提供8寸晶圆grinding服务,以求服务更高效,覆盖更广泛。
研究院还与ADT以色列先进切割技术公司合作,获得品牌授权向公司及公司的客户提供相应切割技术、工艺流程、售后服务以及人员培训等技术支持。(选送单位:高新区科技创新局)